Page 70 - กำหนดมาตรฐานผลิตภัณฑ์อุตสาหกรรม นาโนเทคโนโลยี เล่ม๗


มอก. 2691 เลม 7–2559

่
่
ื
ื
็
ยวดยง อตราการไหล และลกษณะของเครองวัด เครองวัดทใชบวทานอลวดขนาดไดเลกถง 3 nm
่

ี
ั
ิ
ั
ิ
่
ั
ึ
ิ
ื
่
ํ
ในขณะเครองวัดทใชไอโซโพรพานอลวัดขนาดไดตาสดในการวัดท 10 nm และเครองวัดเชงพาณิชยท ่ ี
ื
ุ
่
่
่

่

ี
ี
่

่
ื
ํ
ใชน้าวัดอนุภาคนาโนไดในระดับเดียวกับเครองวัดทใชไอโซโพรพานอล
ี

็

ค.3.2 อเลกโทรมเตอร (electrometer)
ิ
ิ
่
่
ิ
เครองอเลกโทรมเตอรมีความไวตอการวัดอนุภาคนาโน เปนเครืองวัดประจุทีนําพาโดยอนุภาคละออง
ิ
็
ื
่

้

ึ
ิ
ื
ลอยและการใชงานของเครองวัดขนอยูกับการรูถงประจุของอนุภาคแตละชนดในการไหลของละออง
ึ
่



ู

่


ุ
ื

ี
่
ลอย การกระจายประจุรไดจากการใชเครองใหประจหรอนิวทรลไลซเซอร (neutralizer) ททราบ
ื
ั

ึ
ิ
้
่
ื


ั
ื
ิ
ุ
้
ลกษณะเฉพาะของเครองวัดนัน ประสทธภาพในการใหประจขนอยูกับขนาดของอนภาค การใชเครองอิ
่
ุ
ิ

็
ี
่





ู

เลกโทรมเตอรเพียงอยางเดียวอาจไดขอมลความเขมขนของอนุภาคนาโนทไมถกตอง จึงตองใชรวมกับ

ู

ั
ื
่
ิ
ึ

เครองวิเคราะหการเคลอนตวทางไฟฟา (mobility analyzer) ซงประเมนการกระจายขนาดของอนุภาคนา
่
ื
่
ื
่
ื
ิ
็
ี

่
ิ
่

้
โนได ในทางปฏบตเครองอเลกโทรมเตอรนีตองสอบเทยบกับเครองมออน ๆ โดยเฉพาะ CPCs เพือให
ื
ิ
ิ
ื
่
ั
ไดประสทธภาพทดีในการวัดอนุภาคในระดบนาโน
่
ี
ิ
ิ
ั
ี
่
ิ
้
ค.4 การวัดความเขมขนพืนทผว (surface area concentration measurement)


ิ
ี

ํ
ุ
่
้
ี
การวัดพืนทผวของอนภาคในบางครงทาไดดวยการใชวิธ BET วิธนีตองเก็บรวบรวมอนุภาคนาโนใน
้

้
ี
ั
่
ปรมาณทมากถง 50 mg สาหรบการวิเคราะห และความพรนของอนุภาคจะสงผลตอการวัด รวมทงฐานรอง
้
ั

ิ

ุ
ํ
ึ
ั
ี

่
ื
ี
่
ทใชในการเก็บรวบรวมตัวอยางอนุภาคโดยเฉพาะเมอวัสดุทีวิเคราะหมีขนาดเล็กมาก
่
่
ั
ื
ี
ิ
้

เครองอดประจุแบบ DC ใชวัดคาพืนทผวฟุคส (Fuchs surface area) หรอคาพืนทผวแอกทฟของละอองลอย
่
ี
่
ิ

ื
ี
้


่
่
ิ
ี

ไดจากอตราการตดผวของไอออนทเปนขวบวกทมตออนุภาคละอองลอยซงมาจากอนุภาคทีพืนทผวของ
ิ
ี

ั
้
่
ิ
่
ี
้
ี
ึ
ั
่

้
่
ึ
ี
่
ิ
ละอองลอยทสามารถอางองได การสญเสยอนุภาคซงกระทบตอการวัดและเครืองมือขึนอยูกับขนาดของ
่
ู

ี

ี

ึ
ี
อนุภาค ซงประเมนไดจากการทดลองและการเปรยบเทียบกับการตอบสนองทีจําเปน ละอองลอยทเก็บเปน
ิ
่
่
่
่
ื


ุ


ั
ตวอยางผานพลาสมาแบบออน สรางโดยเครองปลอยประจแบบโคโรนา (corona discharge device) อนุภาค
ี
้
ิ
ั
้
ตวอยางผสมกับไอออนขวเดียวในอากาศสามารถแพรกระจายและยดตดกับพืนผวของอนภาคทไดรบ
่
ั
ั
ุ
่
ึ

ิ
้
้

่
ไอออนนัน ไอออนสวนเกินจากการยึดติดกําจัดดวยขัวดักจับอนุภาค (collecting electrode) และอนุภาคทีมี
ิ
่
ประจยึดเกาะอยู ซงเก็บรวบรวมไดดวยตวกรอง HEPA ทอยูในฟาราเดยคบอเลกโทรมเตอร (Faraday cup
็
ิ
ี
ุ
ั
ั


่
ึ

ู
electrometer) กระแสไฟฟาซงเกิดขนจากอนุภาคทมประจุวัดไดดวยอเลกโทรมเตอรความไวสง และ
ิ
ิ
ึ
่
้
ึ
่


ี
ี
็
่
้
่
้
่
้
เชือมโยงความสัมพันธกับพืนทีผิวของอนุภาคตัวอยางนัน การตรวจวัดพืนทีผิวทีมีประจุทําโดยการวัด
่
2


2
3
3
่
จํานวนอนุภาคทีมอยูและอยูในชวง 0 μm /cm ถึง 2 000 μm /cm และคาความไว 1 μm /cm 3
2

ี

เครองวัดทใหผลขณะวด (real-time) ของ 2 ชวงทแลวใหความสมพันธระหวางพืนทผวแอกทฟตอเสนผาน


้
ั
่
ี


่
ี
่
ี

ื
ิ
ี
่
ั
ึ
ี
่
ศนยกลางของอนุภาคทีมขนาดอยูในชวง 20 nm ถง 100 nm
ู


-68-