Page 68 - กำหนดมาตรฐานผลิตภัณฑ์อุตสาหกรรม นาโนเทคโนโลยี เล่ม๗


มอก. 2691 เลม 7–2559

ั

ํ

่
TM


ื
ื
และสามารถคานวณคามวลโดยใชเครองมอ เชน ELPI และ DMAS (ดูขอ ค.5 การวัดการกระจายตวของ
ขนาดอนุภาคนาโน)
ค.2.1 การเก็บตวอยางดวยแผนกรอง (filter sampling)
ั



ุ

ี
ั


ุ
แมวาการออกแบบและการทดสอบอปกรณใหเหมาะสมนันอาจเปนไปได แตในปจจุบนยังไมมอปกรณ
้
ั
ั
ํ

ี
ู
เก็บตวอยางละอองลอยในสถานทปฏบตงานสาหรบอนุภาคนาโนทมขนาดไมเกิน 100 nm ขอมลทม ี
่
ิ
ั
ิ
่
ี
่
ี
ี
่
เกียวกับมวลของอนุภาคนาโนในสถานทีปฏิบัติงานมีนอยมาก โดยคาดวาอัตราการไหลทีมากกวา 10
่
่
ั

่
l/min ตองมการรวบรวมมวลของอนุภาคนาโนในปริมาณทเพียงพอในระยะเวลา 8 h เพือใหชงมวลได 
ี
่
่
ี
่
่
่
ี
้

ื
ั

้
ํ
่

ู

ี
ํ

ื
่
ื
ื
ี
ั
ทอตราการไหลทีสงนีโดยหลกการแลวคาดวาอาจทาใหเครองมอทมอยูทางานไดดี เครองมอเหลานี เชน
ั
ี
่
ี
่
ํ



แผนตกกระทบ (impactors) ไซโคลน ทใชสาหรบอนุภาคทีมขนาดไมเกิน 100 nm
่
่
ี
วิธการวิเคราะหอืน ๆ นอกเหนือจากการวิเคราะหดวยแรงตกกระทบ ทีสามารถนํามาใชในการจําแนก

ี

ั
ํ

ความเขมขนของมวลของอนุภาคนาโนได ตวอยางเชน ตามวิธของ NIOSH 7300 สาหรบโลหะโดยใช 
ั
ิ

่
ื


ิ
ื
ี
เครอง ICP รวมกับการวิเคราะหโดยใชเครอง AES และวิธ NIOSH 7500 สาหรบซลกา โดยการ
ํ
่
ั

ี

ั
ี
้

วิเคราะหสสารโดยใชการเลยวเบนรงสเอกซ (X-ray diffraction)
ื
ิ
ค.2.2 เครองแคสเคดอมแพ็กเตอร
่
ื
ื
่

ื
ี
ิ


ี
่
อกทางเลอกหนงทใชในการศึกษาวิเคราะหทงในสถานทปฏบตงานและสงแวดลอม คอ การใชเครอง
ี
ั
้
ิ
่
่
ั
ิ

ึ
่

แคสเคดอมแพ็กเตอรแบบใชความดันตา เชน ชนิดเบอรเนอร (Berner-type) หรอการใชเครองแคส

่
ิ



ํ
ื
่
ื
่
ิ
้
ื
ื
่


ั
ี

เคดอมแพ็กเตอรแบบทมรเปดขนาดไมโครเมตร เครองมอทง 2 ชนิดนีใชการตกกระทบดวยแรงเฉอยใน
้
ี
ื
ู
่
การแยกอนุภาคออกจากกันตามขนาดเสนผานศูนยกลางอากาศพลศาสตรของอนุภาค และเครืองมือ
่
ี
่
ั
ื
้
ํ
ั
ชนิดนีมการทํางาน 2 หรอ 3 ขนสาหรบขนาดของอนุภาคนาโน ในเครองมอทง 2 ชนิดนี มการชังมวล
่
้
ื
ั
้
ื
ี
้
ี
็
่
ั
ั
ของอนุภาคนาโนบนแผนทรวบรวมอนุภาคทงกอนและหลงการเก็บตวอยาง จากนันจึงพลอตการ

้
้
ั
ู
ั
่
ื
็
่
ี
ู

กระจายขนาดแบบเตมรปแบบ และตดขอมลทขนาด 100 nm หรอขนาดใด ๆ ก็ตามทีไดเกียวกับอนุภาค
่
่
ื
ี
่

ั
ั
ี
ทมขนาดโครงสรางนาโน (ดูขอ ค.5.2 การวัดโดยอาศยหลกการตกกระทบตามแรงเฉอย)

ิ
ิ
็
่
ื
ิ
ี
ั
ค.2.3 เครองวัดมวลระดบไมโครแบบออสซลเลตงและเครองวัดมวลระดับไมโครแบบพอโซอเลกทรก
ิ
ิ
ื
่
(oscillating and piezoelectric microbalances)


ื
ึ
่
่
ั
อกทางเลอกหนึงในการวัดความเขมขนของมวลสาร คอการใช TEOM โดยหลกการของ TEOM (ซง

ี
ื
พัฒนาเรมแรกจากการวัดมวลของอนุภาคนาโนอวกาศ) ใชแผนกรองขนาดเลกซงจะตงอยูบนปลาย
ึ
้

็
ั

ิ
่

่
่

ื
ั
่

แหลมของทอแกวทเปนสวนหนึงของเครองวัดมวลระดบไมโครแบบออสซเลชน (oscillation
ี

่
ั
ิ
ี
่

ั
็
่
่
็
่
microbalance) (เครองชงอนุภาคขนาดเลก ทใชหลกการแกวงใหอนุภาคของสารทมขนาดเลกลอดจาก
ี
ั
ี
ื

ฟลเตอรมาสะสมรวมกัน) โดยความถของการสน (oscillation) ของเครองวัดมวลระดับไมโคร
ี
่
่
ั
่
ื
่
ื


(microbalance) เปลยนแปลงไปตามมวลของอนุภาคทีสะสมอยูบนแผนกรอง เครองมอนีใชงานกันอยาง
่
ื
้
ี
่

-66-