Page 67 - กำหนดมาตรฐานผลิตภัณฑ์อุตสาหกรรม นาโนเทคโนโลยี เล่ม๗
P. 67
มอก. 2691 เลม 7–2559
ื
ตารางท ค.1 เครองมอและเทคนคในการวดการรบสมผัสละอองลอยนาโน (ตอ)
ี
่
่
ั
ั
ิ
ื
ั
ปรมาณ เครองมอ หมายเหต ุ
ิ
ื
ื
่
ุ
ความเขมขนโดย CPC ใชวดจํานวนอนภาคแบบทันที ภายใตระดบเสนผานศูนยกลางอนภาคทีเครืองทํา
ุ
ั
ั
่
่
ุ
ิ
ั
ั
ั
ั
จํานวน ได การวดอาศัยหลกการควบแนนของไอบนตวอยางอนภาค และตดตาม/นบ
่
ิ
้
้
(จากการวด) จํานวนหยดนาทีเกดขึน โดยทัวไปใชชองคัดขนาด (size selection inlet) 1 000 nm
ั
ํ
่
ิ
และสามารถตดตามอนภาคท่มีขนาดเล็กไดถึง 10 nm
ี
ุ
ั
ุ
DMAS ใชวดความเขมขนโดยจํานวนของอนภาคตามขนาด (เสนผานศูนยกลางขณะ
เคลอนที) แบบทันที โดยใหคาความเขมขน และการกระจายตวของอนภาคขนาด
ุ
ั
่
ื
่
ตาง ๆ
่
SEM และ TEM ใชวดความเขมขนโดยจํานวนตามขนาดอนภาคทอยูในรูปละอองในอากาศ
ั
ี
ุ
TM
ความเขมขนโดย ELPI ใชวดขนาดจําเพาะแบบทันที (เสนผานศูนยกลางอากาศพลศาสตร) ความเขมขน
ั
่
ิ
้
่
จํานวน ของพนทีผวทีแอ็กทิฟ และสามารถบอกการกระจายตวของขนาดละอองลอยได
ื
ั
ิ
ั
ุ
(จากการคํานวณ) ขอมูลเกดจากการประมวลผลปริมาณความเขมขน ตวอยางขนาดอนภาคสามารถ
ื
่
วเคราะหไดโดยไมเชอมตรงกับระบบ
ิ
่
ื
้
่
ี
ั
้
่
ิ
่
่
ั
ื
่
ความเขมขนโดย เค รื องแพร ประจุ ใชวดพนทีผวของละอองลอยทีแอ็กทิฟแบบทนที ในกรณทีพนทีผวทีมีขนาดของ
ิ
ั
่
พนทีผว (จากการวด) (diffusion charger) อนภาคสูงกวา 100 nm วดผลไมไดโดยตรง เครืองแพรประจุบางรุนไมสามารถวด
้
ิ
ั
ั
ื
่
ุ
ุ
พนทีผวทีมีขนาดของอนภาคตากวา 100 nm ได เครืองแพรประจุจึงใชไดกับ
่
้
ื
่
ํ
ิ
่
่
่
อนภาคนาโนทีผานชองคัดขนาดมาแลวเทานน
ุ
้
ั
ELPI ใชวดความเขมขนโดยพนทีผวแบบทนทีตามขนาด (เสนผานศูนยกลางอากาศ
ั
ั
ิ
ื
่
้
่
ี
ิ
้
่
ุ
พลศาสตร) ในกรณทีพนทีผวมีขนาดของอนภาคสูงกวา 100 nm อาจวดผล
ั
ื
โดยตรงไมได
ิ
SEM และ TEM ใชวเคราะหแบบไมเชอมตรงกบระบบ (off-line) โดยใหขอมูลพนทีผวของอนภาค
ื
้
่
ิ
ุ
ั
่
ื
ั
ทีเกยวของกบขนาด การวเคราะหโดย TEM ใหขอมูลโดยตรงของอนภาคใน
่
ี
ุ
่
ิ
ั
่
ี
้
ื
่
ั
่
่
้
บริเวณพนทีผวทีวเคราะหซึงเกยวของกบพนทีทีมีรูปทรงทางเรขาคณตตางกน
่
ิ
ิ
่
ิ
ื
ความเขมขนโดย DMAS ใชวดขนาดอนภาคแบบทันที (เสนผานศูนยกลางของอนภาคทเคลอนที) ขอมูล
่
ี
ื
ั
่
่
ุ
ุ
ื
่
ิ
ั
พนทีผว (จากการ อาจแปรผลในรูปของพนทีผวละอองลอยในแตละสภาวะ ตวอยางไดแก เสนผาน
้
ื
่
้
ิ
ี
่
ื
ุ
ั
คํานวณ) ศูนยกลางของอนภาคทหลอมรวมกนทีเคลอนทีซึงแสดงความสัมพนธเกียวของ
่
่
่
ั
่
่
ิ
่
กนอยางดกบพนทีผวทีตรวจวด
ั
ั
ี
ื
่
้
ั
ุ
ื
ั
ั
DMAS และ ELPI ใช ใชวดความแตกตางระหวางการวดอนภาคแบบอากาศพลศาสตรกบแบบเคลอนที ่
ั
่
่
้
ื
ั
ั
ิ
่
ควบคูกน ใชเปนหลกในการคํานวณคาแตกตางของมิต ซึงทําใหคํานวณพนทีผวได
ิ
ค.2 การวัดความเขมขนของมวล
ื
ื
่
ี
่
ความเขมขนของมวลสารนันวัดไดโดยใชเครองมอทใชอานคาไดทนท จากอนุภาคทีสะสมอยูบนแผนกรอง
้
ี
่
ั
่
ั
ื
เชน เครองเก็บตวอยางละอองลอย เครองแคสเคดอมแพ็กคเตอร และ เครองวัดมวลระบบไมโครแบบออส
ื
่
ื
ิ
่
ิ
ี
ื
ซลเลติง และ แบบผลกเรโซแนนซ (resonator crystals) หรอเครองวัดมวลแบบสมดุลพิอโซ (piezobalance)
ื
ึ
่
-65-
