Page 74 - กำหนดมาตรฐานผลิตภัณฑ์อุตสาหกรรม นาโนเทคโนโลยี เล่ม๗
P. 74
มอก. 2691 เลม 7–2559
ื
่
ั
TM
ค.5.3 การวัดดวยเครองวัดการกระจายตวของขนาดอนุภาคแบบ ELPI
่
ื
่
TM
ั
เครองวัดการกระจายตวของขนาดอนุภาคแบบ ELPI เปนเครืองมือทีรวมเทคนิคการสะสมอนุภาคดวย
่
ั
่
่
ื
แรงเฉอยเขากับเทคนิคการตรวจวัดอนุภาคดวยไฟฟาเพือใชในการหาคาการกระจายตวของขนาดละออง
่
ี
ลอยทมขนาดเสนผานศนยกลางประมาณ 7 nm ขนไป ซงเปนการตรวจวัดทเชอถอไดวามความใกลเคยง
ึ
่
ี
้
ี
่
ื
ู
่
ึ
ี
ี
ื
กับการตรวจวัดทใหผลขณะวัดโดยมการอดประจุละอองลอยทเขามาในเครืองโดยเครืองอดประจุแบบ
่
ี
่
ี
่
ั
่
ี
ั
ํ
ี
่
ิ
ั
่
ขวเดียวกอนเก็บตวอยางดวยเครองแคสเคดอมแพ็คเตอรแบบทใชความดันต่าดังทีกลาวไวใน ขอ ค.2.2
ั
ื
่
้
ี
ี
เครองแคสเคดอมแพ็คเตอร ทแผนตกกระทบแตละแผนมระบบไฟฟาแยกเปนอสระตอกัน แตมการ
ิ
่
ื
่
ี
ิ
่
ื
ิ
ํ
เชอมตอการทางานของแตละแผนเขาดวยกันดวยอเลกโทรมเตอรแบบหลายชองทาใหสามารถวัดประจุ
ิ
ํ
็
่
ี
่
ั
ี
่
สะสมทเปลยนแปลงไปตามเวลาได สาหรบในกรณีของเครอง DC ดังทกลาวไวในขอ ค.4 การวัดความ
่
ํ
ี
ื
ี
ี
่
ิ
้
้
ี
ิ
่
ั
ิ
ั
เขมขนพืนทผว โดยทประจุของอนุภาคจะมความสมพันธโดยตรงตอพืนทผวแอกทฟ ดังนันสญญาณ
่
้
ี
ิ
่
ั
ี
่
่
ี
็
ิ
ื
รวมทไดจากเครองอเลกโทรมเตอรทรวบรวมมาจากสญญาณของแผนตกกระทบแตละแผนจึงมี
ั
้
ความสมพันธโดยตรงกับพืนทผวแอกทฟของละอองลอย การทีสญญาณของเครองอเลกโทรมเตอรท ่ ี
ั
่
ี
ิ
่
ิ
ิ
ิ
็
่
ื
ั
่
ไดมาจากแผนตกกระทบแตละแผนซงมความสมพันธกับพืนทผวแอกทฟของอนุภาคทีขนาดเสนผาน
ิ
ิ
ี
้
่
ึ
่
ี
ู
่
ื
้
ี
ื
ศนยกลางอากาศพลศาสตรในชวงแคบ จึงทาใหเครองมอนีมขอจํากัดในการแปลผลขอมลทเกียวของกับ
ํ
่
ี
่
ู
ั
่
ู
รปรางของอนุภาคทีเปนตวอยาง
ู
ในกรณีททราบวาประสทธภาพในการอดประจใหกับอนุภาคเปนฟงกชนกับขนาดเสนผานศนยกลาง
ั
่
ิ
ี
ิ
ั
ุ
ี
่
อากาศพลศาสตร หรออาจตงเปนสมมตฐานไดนัน สามารถนําขอมลทใหผลขณะวัดทไดจากเครอง
ื
ู
้
ี
่
ั
้
่
ุ
ื
ิ
TM
่
่
ELPI มาใชในการแปลผลในรูปแบบทีเปนการกระจายตัวของขนาดตามการใหน้าหนักไปทจํานวน
ี
ํ
ิ
ิ
ิ
้
ั
ของละอองลอยได โดยในทางปฏบตนันประสทธภาพในการอดประจุใหกับอนุภาคหาไดจากการ
ิ
ั
ทดลอง ซงการแปลผลการวัดในรปแบบของความเขมของมวลอนุภาค หรอการกระจายตัวของขนาด
ื
ู
ึ
่
ี
ตามการใหน้าหนักไปทมวลทาไดเชนเดียวกัน แมวาการวัดดังกลาวตองมีขอมูลประสิทธิผลของความ
ํ
ํ
่
่
ี
ี
่
ู
ู
หนาแนนอนุภาคทีเปนฟงกชนกับขนาดอนุภาคและมขอมลการสญเสยอนุภาคทีมความถกตอง
ั
ู
ี
TM
นอกจากการทีเครอง ELPI วัดความเขมขนของอนุภาคและการกระจายตัวของขนาดแบบตอตรง (on-
่
่
ื
TM
line) ไดแลว การดักเก็บตวอยางละอองลอยโดยใชเครอง ELPI ยังนํามาใชในการวิเคราะหตัวอยางที ่
ื
่
ั
ั
ิ
็
่
ี
ึ
ึ
ั
เก็บมาในภายหลงไดอก ซงรวมถงการวิเคราะหตวอยางดวยกลองจุลทรรศนอเลกตรอนและการ
ี
วิเคราะหองคประกอบทางเคม
ํ
ค.5.4 การคานวณความเขมขนของอนุภาคนาโนจากการวัดการกระจายตวของขนาด
ั
ื
่
ั
ึ
ขอมลเกียวกับลกษณะของขนาดอนุภาคละอองลอยขณะผลตหรอจัดการเกียวกับอนุภาคนาโน รวมถง
ู
ิ
่
ั
การวัดการกระจายตวของอนุภาค นํามาใชคํานวณหาระดับการไดรับสัมผัสอนุภาคนาโนได เชน การ
ั
ี
่
คานวณคาความเขมขนของจํานวนจากการใชคาการกระจายความถรวมกับขอมลปรมาตรของตวอยาง
ํ
ู
ิ
-72-
