Page 19 - กำหนดมาตรฐานผลิตภัณฑ์อุตสาหกรรม นาโนเทคโนโลยี เล่ม๓

มอก. 2691 เลม 3–2558


่
ื
ื
ตารางท 2 เครองมอสาหรบวดความเขมขนทางตรงโดยจานวน มวล และพืนทผิว (ตอ)
่
ี
ํ
้
ี
่
ั
ั
ํ
ื
ิ
ปรมาณ เครองมอ หมายเหตุ
่
ื


ื
่
ความเขมขนโดย SEM และ TEM ใชวิเคราะหแบบไมเชอมตรงกับระบบ (off-line) โดยให


้

ู
้
่
ิ
ี

พืนผว (จากการวัด) ขอมลพืนทผวของอนุภาคทีเกียวของกับขนาด การวิเคราะห 
ิ
่
่
่
้
ิ
ี
(ตอ) โดย TEM ใหขอมลโดยตรงของอนุภาคในบรเวณพนทผวท ี ่

ู
ื
ิ

่
่
่
ี
้
วิเคราะหซงเกียวของกับพืนททมรปทรงทางเรขาคณิตตางกัน

่

ึ
ี
ู

ี
่
ี
ตารางท 3 เครองมอสาหรบวดความเขมขนทางออมโดยจานวน มวล และพืนทผิว
ี

้
่
ั
ํ
ั
ํ
่
ื
ื

(ขอ 10.1 ขอ 10.2 และขอ 10.3)


ื
ื
่
ปรมาณ เครองมอ หมายเหตุ
ิ


ั

ี
ู
ํ

ความเขมขนโดย ELPI ใชวัดขนาดจาเพาะแบบทนท (เสนผานศนยกลางอากาศ

จํานวน พลศาสตร) ความเขมขนของพืนทผวทแอกทฟ และบอก



ิ
่
ี
ี
ี
็
่
้

ั
ู
(จากการคานวณ) การกระจายตวของขนาดละอองลอยได ขอมลเกิดจากการ
ํ

ิ
ประมวลผลปรมาณความเขมขน ตวอยางขนาดอนุภาค
ั



่
ื
วิเคราะหไดโดยไมเชอมตรงกับระบบ
ู



ี



ความเขมขนโดย ELPI ใชวัดขนาดแบบทันท (เสนผานศนยกลางอากาศพลศาสตร)
ิ
่
่
ี

ี
็
ี

มวล ความเขมขนของพืนทผวทแอกทฟ และบอกการกระจายตว
ั
้

ํ
(จากการคานวณ) ของขนาดละอองลอยได ความเขมขนมวลละอองลอย


ํ
คานวณไดหากทราบประจุอนุภาค และ ความหนาแนนของ
่
ตวอยาง ขนาดอนุภาควิเคราะหไดโดยไมเชอมตรงกับระบบ


ั
ื

ั
DMPS ใชวัดขนาดอนุภาคแบบทนท (เสนผานศนยกลางของ
ี

ู

่
อนุภาคทีเคลอนท) โดยแสดงผลการกระจายตวของขนาด
่
ั
ี
ื
่
ํ


ละอองลอย ความเขมขนของมวลละอองลอยคานวณไดจาก
่
ุ
ื

ู
ี
่
รปราง และความหนาแนนของอนุภาคทีทราบหรอทสมมต ิ

ู

ั

ี



ความเขมขนโดย DMPS ใชวัดขนาดอนุภาคแบบทนท (เสนผานศนยกลางของ
ั
ี
ื
พืนทผว อนุภาคทีเคลอนท) โดยแสดงผลการกระจายตวของขนาด
่
ิ
่
้
่
ี
่
(จากการคานวณ) ละอองลอย ความเขมขนของมวลละอองลอยคานวณไดจาก
ํ


ํ
ุ
่
ื

ี
รปราง และความหนาแนนของอนุภาคทีทราบหรอทสมมต ิ
ู

่
DMPS ใชวัดความแตกตางระหวางการวัดอนุภาคแบบอากาศ



่
ELPI พลศาสตรกับแบบเคลอนท ใชเปนหลกในการคานวณคา 

ํ

ี
ั
่
ื

้
ํ
แตกตางของมต ซงทาใหคานวณพืนทผวได
ํ
ิ
่
ิ
ิ
ึ
่
ี

-17-