Page 18 - กำหนดมาตรฐานผลิตภัณฑ์อุตสาหกรรม นาโนเทคโนโลยี เล่ม๓


มอก. 2691 เลม 3–2558

ํ
่
่
ตารางท 2 เครองมอสาหรบวดความเขมขนทางตรงโดยจานวน มวล และพืนทผิว
ี
ั
ั
้
ื
ื
ํ
ี
่


(ขอ 10.1 ขอ 10.2 และขอ10.3)

่
ปรมาณ เครองมอ หมายเหตุ
ื
ื
ิ



ความเขมขนโดย CPC ใชวัดจํานวนอนุภาคแบบทันท ี ภายใตระดับเสนผาน



ู
ํ
่
จํานวน ศนยกลางอนุภาคทเครองทาได การวัดอาศยหลกการ
ั
่
ี
ื
ั
ิ
(จากการวัด) ควบแนนของไอบนตวอยางอนุภาค และตดตาม/นับจํานวน
ั
่
หยดน้าทเกิดขน โดยทวไปใชชองคดขนาด (size selection
ั
ี
ํ

้
ั

่
ึ
ิ
ี
inlet) 1 000 nm และสามารถตดตามอนุภาคท่มีขนาดเล็ก
ึ
ไดถง 10 nm




DMPS ใชวัดความเขมขนโดยจํานวนของอนุภาคตามขนาด (เสน

ู
ี
ั
ี
ผานศนยกลางขณะเคลอนท) แบบทนท โดยใหคาความ
่
ื
่


เขมขน และการกระจายตัวของอนุภาคขนาดตาง ๆ


SEM และ TEM ใชวัดความเขมขนโดยจํานวนตามขนาดอนุภาคทีอยูในรป
ู
่




ละอองในอากาศ
ุ

ั
่
ี
ื
ี
็
ี

่

ี
ความเขมขนโดย เครองไซสซเลคทฟสแต ใชวัดมวลอนุภาคโดยสมตวอยางตามขนาดทมคาไมเกิน





ื
มวล (จากการวัด) ตก แซมเปลอร (size 100 nm และวิเคราะหตวอยางการชงน้าหนัก หรอการ
ั
ิ
่
ั
ํ

ื
ื
ี
selective static sampler) วิเคราะหทางเคม แมวาไมมเครองมอทดสอบนีจําหนาย


่
้
ี
ทางการคา แตใชเครองแคสเคดอิมแพ็คเตอร (cascade
่



ื
ื
impactor) ไดแก Berner-type low pressure impactor หรอ


microorifice impactor ในชวง 100 nm วิเคราะหได



TEOM ใชวัดความเขมขนโดยมวลของอนุภาคนาโนละอองลอย
ื
ั
ี

่
ื
ั
่
แบบเชอมตรงกบระบบ (on-line) เปนเครองวัดทนทแบบ

ู

ความไวสง (sensitive real-time) สามารถใชรวมกับชอง
ั
คดขนาด

่
ี
่
ี
็

้
ิ

ี
ั
ความเขมขนโดย เครองแพรประจ ุ ใชวัดพืนทผวของละอองลอยทแอกทฟแบบทนท ในกรณีท ี ่
ื
่

ิ
ิ
พืนผว (จากการวัด) (diffusion charger) พืนทผวทมขนาดของอนุภาคสงกวา 100 nm วัดผลไมได
้

ี
้
ิ
่
ี
ู
ี
่
่

ุ
โดยตรง เครองแพรประจบางรนไมสามารถวัดพืนทผวทม ี
้
ิ
ื
ุ

ี
่
่

ี
่
ํ
ขนาดของอนุภาคตากวา 100 nm ได เคร่องแพรประจุ
ื

ั
จึงใชไดกับอนุภาคนาโนทผานชองคดขนาดมาแลวเทานัน
ี



้
่

้
ิ
ี

ี


ELPI ใชวัดความเขมขนโดยพืนทผวแบบทันทตามขนาด (เสน
่

ี
่
้


ู
ี
ี
ผานศนยกลางอากาศพลศาสตร) ในกรณีทพืนทผวมขนาด
ิ
่

ของอนุภาคสงกวา 100 nm อาจวัดผลโดยตรงไมได
ู

-16-